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第69章 山巍[01] 13.5nm工艺制程。（第7页）

四组报告……

随着一个又?一个与仿真?预估无二的报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！

众人憋着一口气没出声，就等着盛明安总结。

盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布：“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提高音量，“我?们的科研项目，激光等离子体?极紫外?光刻光源是——”

“13.5nm！”

原本想欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼吸急促，不敢置信，纷纷以为自?己的耳朵坏了，他们出现?了幻听。

盛明安语气里流泻出轻松的笑意：“恭喜大家。”

见众人没反应，他回头，疑惑：“你们不满意吗？”

林成建也懵了，小心翼翼地询问：“盛工，你刚才说?13.5nm……不是16nm？”

同?盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院长好笑地环顾众人表现?不一的样子。

雷客比林成建还小声轻柔：“比asml euv的14nm还精确了0.5nm？”

杜颂捂着心脏，喃喃说?道：“不是吧……我?整天研究的就是这?么牛逼的玩意？”

助理姑娘掐得更?狠了，但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经可以抚平身?体?的疼痛。

“啊，”盛明安下意识看向陈惊璆：“你们都有异议吗？”

陈惊璆惊讶过后便是一笑：“没有异议。他们惊喜过头了。”

盛明安又?看向林成建等人，谁知他们面面相觑，陷入沉默，一秒、两秒、三秒……“啊啊啊啊——！！！”

猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天花板，要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会影响到实验室设备，热爱实验室设备的盛明安就该拉下脸，而负责掏钱买设备的陈惊璆应该会冷脸赶人出去了。

但无伤大雅的此刻，他们纵容每一个团队成员尽情?放纵无以言表的兴奋和激动。